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2月6日,武汉市科技革新大会谨慎召开,并宣告了《2024年度十大科技革新产物》。此中,同盟单元华工科技自帮研发的第一台中心部件100%国产化的高端晶圆激光切割配备凯旋入选,成为这一嘉会的一大亮点。这一产物自问世往后,多项枢纽目标均打破了行业记实,并仍旧正在九峰山尝试室等多个单元获得了现实操纵。
晶圆切割正在半导体封测工艺中占领着不成或缺的位子。其重要成效是对晶圆举办划片、决裂或开槽等微加工。而抬高切割质料与服从,不单直接影响芯片临盆的良率,更与临盆本钱亲昵合系。长久往后,这一市集由海表厂商主导,国内临盆企业面对着较大的“卡脖子”压力。为懂得决这一行业痛点,华工科技当机立断地举办了时间攻合,从而推出了这一高端晶圆激光切割配备。
这款兴办正在打算上蕴涵了多个革新模块,包含主动涂胶洗刷单位、SEMI圭表半导体晶圆搬运体例以及行业专用的视觉和切割软件。与古代的刀轮切割形式比拟,其切割服从抬高了5倍。更加是正在某些高端晶圆切割操纵中,这一兴办简直可能竣工无尘干切,通过大幅面及时动态中央积蓄时间,有用办理了晶圆正在轻浮化流程中所面对的翘曲题目。
华工科技的新的“全主动晶圆激光改质切割兴办”更是开创了干法切割的新气象。该兴办不只大幅擢升了切割精度,其热影响降为0,切割后的崩边驾御正在5个微米以内,基础抵达了国际最先辈的程度。这标识着国内正在半导体创造界限的时间程度有了质的奔腾,不妨更好地餍足高精尖家当对产物的庄重央浼。
为了确保对行业需求的敏锐性,华工科技从集团层面整合了多个资源,包含工业软件和半导体研发团队等,同时与九峰山尝试室等科研单元的合作无懈,造成了上下游协作的良性轮回。如此的协作形式有用买通了家当链和供应链中的堵点,为高端晶圆激光切割配备的迅速家当化奠定了根本。
2024年三季度,华工科技正在第一代兴办的根本前举办了时间迭代,推出了第二代高端晶圆激光切割兴办。新一代产物正在软件主动化方面的时间改正,集体服从再次擢升了20%。目前,华工科技正深远斥地面向化合物半导体界限的七套配备,扩展其正在前道和后道造程的操纵。
华工科技的振兴不单展现了国内正在高端创造界限的时间打破,同时也是中国半导体家当自帮革新的一次主要推行。另日,华工科技将连接加大正在化合物半导体界限的时间研发参加,力争正在国产化和工艺成效上赢得更大的发达。这一功效不单为国内半导体家当供应了一个不妨打破潜正在“卡脖子”困难的办理计划,也予以国内科技界和企业一种踊跃的信念。通过一连的革新与时间的自帮可控,中国半导体行业正朝着加倍发达的宗旨迈进。
血忱接待列入咱们正在2025年5-27-29日举办的两机展和激光正在两机(飞机鼓动机和燃气轮机)中的操纵大会返回搜狐,查看更多